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ESD過程中的靜電場(chǎng)實(shí)驗(yàn)研究
分析了靜電放電(ESD)過程中的靜電場(chǎng).對(duì)某型靜電場(chǎng)強(qiáng)計(jì)進(jìn)行了標(biāo)定,并利用該場(chǎng)強(qiáng)計(jì)對(duì)放電過程中的靜電場(chǎng)進(jìn)行了測(cè)量.指出在放電點(diǎn)附近存在較強(qiáng)的靜電場(chǎng),其幅度隨距離增加迅速衰減.
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