衍射光學(xué)束勻滑器件性能的空間頻譜分析

采用空間頻譜方法分析了衍射光學(xué)束勻滑器件的焦面光強分布,重新定義了光能利用率及頂部不均勻性兩個參數(shù),由于其定義的溯源性,能夠真實準(zhǔn)確地評價束勻滑器件的設(shè)計性能.最后,采用這兩個參數(shù)對精細化設(shè)計前后的衍射光學(xué)束勻滑器件性能進行了對比,結(jié)果證明了精細化設(shè)計的有效性.

作 者： 譚峭峰 嚴(yán)瑛白 金國藩 鄔敏賢 徐端頤   作者單位： 清華大學(xué)精密測試技術(shù)與儀器國家重點實驗室,北京,100084  刊 名： 中國激光  ISTIC EI PKU 英文刊名： CHINESE JOURNAL OF LASERS  年，卷(期)： 2002 29(8)  分類號： O436.1  關(guān)鍵詞： 空間頻譜   衍射光學(xué)器件   束勻滑   精細化設(shè)計  

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