納米壓痕法研究PZT壓電薄膜的力學性能

PZT壓電薄膜的力學性能如彈性模量、硬度等對于MEMS器件的結構設計、結構響應特性、服役性能等尤為重要.薄膜材料由于尺寸效應、表面效應等的作用,力學性能與宏觀塊體材料有顯著差異.本文用納米壓痕法獲得了PZT壓電薄膜的彈性模量和硬度,考察了基底的影響,分析了退火時間對于其力學性能的影響,以及硬度和壓入深度之間的壓痕尺度效應.

作 者： 蔣銳 胡小方 許曉慧 伍小平 JIANG Rui HU Xiao-fang XU Xiao-hui WU Xiao-ping   作者單位： 蔣銳,胡小方,伍小平,JIANG Rui,HU Xiao-fang,WU Xiao-ping(中國科學技術大學,中國科學院材料力學行為和設計重點實驗室,合肥,230027)

許曉慧,XU Xiao-hui(中國科學技術大學,精密機械與精密儀器系,合肥,230027) 

刊 名： 實驗力學  ISTIC PKU 英文刊名： JOURNAL OF EXPERIMENTAL MECHANICS  年，卷(期)： 2007 22(6)  分類號： O34 O48  關鍵詞： PZT壓電薄膜   納米壓痕法   壓痕尺度效應  

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