熱解碳化學氣相沉積中的多重定態(tài)和非平衡相變的研究

討論在熱解碳化學氣相沉積過程中出現(xiàn)的多重定態(tài)和非平衡相變這一典型的非平衡物理現(xiàn)象的機理和發(fā)展趨勢.通過理論分析和實驗結果的分析發(fā)現(xiàn)熱解碳化學氣相沉積的化學反應是一個典型的非平衡化學反應,其中在沉積過程中出現(xiàn)的生成碳黑的過程是一個典型的非平衡相變.在這一非平衡化學反應中,自由基的反應模型符合Schlogl模型.在這一非平衡化學反應中,有線性區(qū)和非線性區(qū),線性區(qū)的產(chǎn)物是熱解碳,而非線性區(qū)是碳黑.在線性區(qū),反應速率方程是唯一的、線性的,而在非線性區(qū),反應速率方程是多重的、非線性的.

作 者： 閆桂沈 李賀軍 郝志彪   作者單位： 閆桂沈(西北工業(yè)大學材料科學與工程系,西安,710072；航天科技集團公司第四研究院四十三研究所,西安,710025)

李賀軍(西北工業(yè)大學材料科學與工程系,西安,710072)

郝志彪(航天科技集團公司第四研究院四十三研究所,西安,710025) 

刊 名： 物理學報  ISTIC SCI PKU 英文刊名： ACTA PHYSICA SINICA  年，卷(期)： 2002 51(2)  分類號： O4  關鍵詞： 非平衡化學反應   非平衡相變   化學氣相沉積   Schlogl模型   熱解碳  

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