電弧離子鍍硬質梯度薄膜技術

電弧離子鍍設備若具有必要的功能條件,就可用純金屬分離靶弧流控制技術來制取多元硬質梯度薄膜,本工作明確合成梯度薄膜的工藝原則,并以TiAl多層合金梯度薄膜和(Ti,M)N(M為Zr,Nb等元素)硬質梯度薄膜為例,進一步展開說明該技術的工藝過程,對實際效果給予評定.結果表明,用電弧離子鍍技術制備多元硬質梯度薄膜,具有操作簡便、沉積速度快、成分調節(jié)范圍寬等優(yōu)點,為多元復合硬質薄膜的合金強化機制與結構優(yōu)化研究,提供了關鍵的技術條件.

作 者： 林國強   作者單位： 大連理工大學三束材料表面改性國家重點實驗室,大連,116024  刊 名： 真空科學與技術學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY  年，卷(期)： 2002 22(3)  分類號： O484.1  關鍵詞： 電弧離子鍍   硬質薄膜   梯度薄膜  

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