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Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20隧道結磁電阻與退火效應的研究
采用磁控濺射技術制備了Ni80Fe20/Al2O3/Ni80Fe20磁性隧道結樣品,觀測了該隧道結次伏安特性及隧道磁電阻的磁化曲線.研究了中間絕緣層結構和厚度及不同退火條件對隧道結磁電阻效應的影響.結果表明,中間氧化物的厚度對磁電阻值起調節(jié)作用,在3~7 nm范圍內磁電阻基本呈現(xiàn)單調遞減現(xiàn)象,是提高磁隧道結性能必須考慮的因素;發(fā)現(xiàn)隧道結磁電阻隨退火溫度升高而增加,并在230℃左右達到最大.
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